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포럼 게시판| 제목 | Gap sensor 적용사례: 공작기계산업- 실리콘 웨이퍼의 두께 측정 |
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| 작성자 | 관리자 |
| 등록일 | 2020.06.15 |
| 조회수 | 1139 |
 실리콘 잉곳에서 웨이퍼를 얇게 슬라이스한 재료의 두께를 측정할 때 사용했습니다. 상정반과 하정반의 격차를 센서로 파악하여 웨이퍼의 두께를 계산합니다. 주로 센서는 PU-05 코일타입을 사용하며, 경우에 따라 PU-09코일 타입도 사용합니다. 센서는 상정만에 설치하는 방법 으로 운용했습니다. |
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